龙珠体育杂质元素对高纯石英产物德料有何浸染?
石英中首要的杂质元素有Al、Fe、龙珠体育在线平台Ca、Mg、Li、Na、K、Ti、B、H,杂质元素对高纯石英产物的质地感化很大,碱金属、过度金属、Al及P等元素含量是高纯石英材料的关头目标。杂质元素的含量央浼按照制备的石英玻璃用处差别而差别,但总的趋向是越低越好。
下降石英玻璃的利用温度和机器强度,在低温下对石英玻璃的析晶起催化感化,致使石英玻璃呈现失透、低温变形等形势。下降碱金属元素的含量有益于进步高纯石英坩埚的硬化点,加强石英坩埚的抗变形性,进步单晶的制品率。
IOTA尺度砂央浼碱金属元素总和2.4×10⑹,用于工艺管龙珠体育、硅片处置、石英块、栈单晶硅用的半导体坩埚所需高纯石英央浼其总和<1.4×10⑹,CZ型坩埚央浼其总和<0.5×10⑹,而用于12英寸或更大尺寸硅片所需超高纯石英砂央浼其总和<0.08×10⑹。
使石英玻璃产增光斑或引发石英玻璃的低温变色,感化光透过率,下降仪器的靠得住性和不变机能,在光纤利用中,龙珠体育在线平台会引发宏观视角不屈均、增添光纤消耗,乃至致使旌旗灯号失真,但在半导体利用中,产物中细小含量的过度金属元素也许增进结晶发展。
加入石英晶格,会发生较强的化学键,感化石英成品的导电性,同时,加强了石英玻璃的析晶感化,下降了利用寿命。少许的Al不会感化到高纯石英产物的质地,IOTA尺度砂央浼Al元素含量(12~18)×10⑹,但光导纤维中微量的Al便会下降石英玻璃的光传导。P元素的保管会主要感化单晶硅的拉制,故高纯石英坩埚对P央浼高,央浼P元素含量<0.04×10⑹。